液氯库中的氯气和氢氧站提供的氢气或通过干法回收的氢气，通过各自的缓冲罐，维持特定的压力，按照特定的摩尔比（1∶1.05～1.1），将氯气和氢气在氯化氢合成炉内混合燃烧，生成纯净的氯化氢气体，合成过程中，表面温度控制在适宜范围（300～350℃），经过一系列的冷却和分离措施，如空冷、水冷、雾沫分离等，确保氯化氢的纯度和含水量达到最佳状态，经过一系列处理后的氯化氢气体被收集并储存,以供后续使用或进一步处理。
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这个三氯氢硅合成工艺流程是一个复杂而精密的过程，需要严格控制每一个环节,以确保最终产品的质量和稳定性。
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